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格科微:成功实现整套ASM光刻机中的关键设备
时间:2022-03-29 13:46:21

日前国产芯片厂商格科微宣布成功实现整套ASML光刻机中的关键设备——先进ArF光刻机的搬入。

据格科微表示,目前,格科微洁净室已按计划分阶段顺利验收,相关厂务系统配备进展顺利,共有六十一台设备已经搬入。未来,外延、蚀刻、薄膜、清洗等相关设备仍会陆续搬入。

格科微表示,ArF光刻机的成功引入,是格科微“12英寸CIS集成电路特色工艺研发与产业化项目”建设的关键节点。

依托自有工厂即格科半导体的先进制程,格科微将进一步加快先进CIS工艺和高阶专利像素的研发速度,并在自有工厂实现批量生产验证,从而极大缩短高端产品从研发到大量供应市场的周期。

据了解,该项目总投资约155亿元,建设一座12英寸、月产6万片的芯片厂,建造12英寸晶圆CMOS图像传感芯片特殊工艺制造生产线,预计年底达到量产状态。

今年2月,格科微披露2021年度业绩快报。报告期内,公司实现营收70亿元,同比增长8.44%;实现归母净利润12.59亿元,同比增长62.78%;扣非净利润12.03亿元,同比增长57.09%。

关键词: 业绩快报 关键设备 归母净利润 研发速度

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